微纳加工中心是浙江大学“十三五”规划重点建设工程之一，是我校开展与促进纳米科技及多学科交叉研究的重要创新平台。中心定位于微纳技术发展前沿，结合校内信电、光电、电气、物理、材料、机械等相关学科的需求特点，建设基于多种半导体衬底材料的微米/纳米图形制备、薄膜沉积/生长、干法及湿法刻蚀、表征测试及封装的体系化、模块化工艺链，适用于微纳电子器件、光电子器件、功率器件、MEMS、二维材料器件、柔性/可穿戴电子器件、集成电路芯片等工艺的微纳加工。
